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无油真空泵的应用广泛,主要有以下几个方面

时间:2022-04-18 点击次数:274
  无油真空泵具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。无油真空泵耐用性好,是抽真空,压缩,两用真空泵,是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。本产品与油泵相比真空度低,抽气量小,但体积小巧,易于安装,维护简单,移动方便,不产生油烟,不污染环境,尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室最常备的设备之一。
 
  因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,而选的真空泵就要高于需求的真空度,否则达不到抽真空的要求,就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率,选型时就要稍大于所需求的抽气速率,这样就能更好的满足需要。最后看抽取的气体有无腐蚀性,有腐蚀的气体会腐蚀泵,必须要用特殊的材质才能满足需求。
 

 

  无油真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
 
  结构特点:
  无油直联旋片真空泵,是一种旋片式单级真空泵。用来抽除密封容器中的气体,以获取真空的基本设备。
  该泵可用于空调,制冷设备的修理,医疗仪器的抽吸装置,印刷机械,真空包装,真空吸塑,理化实验及需要真空环境的小型装置等各种真空作业用。还可以作为小型的油增压泵、油扩散泵,分子泵等的前级泵使用。
  该泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高,有爆炸性的有毒气体。更不能作为传输泵使用。

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